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ここがすごい!

独自の『小型巻き取り式真空蒸着装置』を開発!!マシン・テクノロジー(株) 企業詳細

2013年9月10日
小型巻取り式電子ビーム蒸着装置
小型巻取り式電子ビーム蒸着装置
製品カタログです
製品カタログです

 これまで、真空蒸着装置はほとんどが量産対応のため、小型で巻取り式の装置は、コストがかかり、大手メーカーでは開発されていませんでした。
 そこで、量産は巻取り式蒸着装置がほとんどといったこともあり、量産条件に近い形で研究開発が行える「小型巻取り式真空蒸着装置」を開発いたしました。
 本製品は、基本となる蒸着装置に、オプションユニットを追加することにより、お客様の様々なニーズにお応えすることが可能となっております。

機材フィルム:金属箔(Cu/Al等)10~30μm厚、プラスチックフィルム(PET/PP/PI等)10μm厚
最大巻径:φ150mm
コア径:3インチプラスチックテーパー付コア(外径φ90mm)
基材幅:130mm(110~150mmの範囲内)
蒸着幅:100mm                  蒸着速度:最大4m/min
主排気系:10インチ油拡散ポンプ       到達真空度:10⁻³Pa台


【オプションユニット】
・クリーニング/面改質用プラズマ源
・膜厚モニター(渦電流式/水晶振動子式/透過式)
・オイルマスキング(非蒸着部作製/パターニング蒸着)
・RFイオンプレーティング
・帯電除去用プラズマ源
・コールドトラップ

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